簡(jiǎn)要描述:高純氣體雜質(zhì)分析儀在日常生活和工作中,我們需要用到大量的高純度的氣體,其含量常常在 99.999%以上,而其中的部分雜質(zhì)組分,比如O2,其含量較大常常會(huì)給我們的生 產(chǎn)帶來(lái)很多不必要的損失,因此,必須對(duì)高純氣體中雜質(zhì)氣體的含量進(jìn)行測(cè)定。
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高純氣體雜質(zhì)分析儀介紹:
脈沖放電氦離子檢測(cè)器(PDD)是一款具有超高靈敏度的檢測(cè)器,其檢測(cè)限比 傳統(tǒng)的 FID 檢測(cè)器高一個(gè)數(shù)量級(jí),而且,該檢測(cè)器是一款通用性的檢測(cè)器,對(duì) 所有的物質(zhì)均具有較高的靈敏度,因此,該檢測(cè)器常用于高純氣體的分析,其檢 測(cè)限能達(dá)到 PPB 級(jí)別。
氧化鋯檢測(cè)器是一個(gè)選擇性的檢測(cè)器,主要能檢測(cè)樣品中具有氧化還原的物 質(zhì),比如O2等。在高純氬中,由于大量的氬氣導(dǎo)致O2和氬氣不能分離,因而用 PDD檢測(cè)器很難對(duì)O2進(jìn)行檢測(cè),但可以通過(guò)選擇性的氧化鋯檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。
本方案中,我們通過(guò)一套多閥系統(tǒng)對(duì)高純氣體進(jìn)樣進(jìn)樣操作,并通過(guò)中心切 割,反吹等閥切換技術(shù),完成高純氬,高純氮等高純氣體的分析。
本系統(tǒng)中,所有的閥的切換均通過(guò)程序設(shè)置切換時(shí)間,有儀器自動(dòng)控制,具 體的分析氣路圖請(qǐng)咨詢(xún)相關(guān)銷(xiāo)售人員。
高純氣體雜質(zhì)分析儀圖解:
圖為:高純氮中雜質(zhì)分析色譜圖
圖為:高純氬中氣體雜 PDD 分析色譜圖
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氬氣、氮?dú)庵须s質(zhì)氣體組分的檢測(cè)限表 |
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